离子氮化炉工艺流程，离子氮化的工作原理

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离子氮化是利用辉光放电这一物理现象对工件表面进行硬化。在充有氨气的真空炉体内，炉体作为阳极，工件与炉底板接触为阴极。炉体与工件之间通入直流电压，使产生辉光放电。在辉光放电的高压电场下氨气中的氮、氢原子被电离，在阴阳极之间形成等离子区。气体中的离子向阴极移动，当接近工件表面时，由于辉光放电，工件表面出现电压降，电压剧降使离子加速轰击工件表面，高动能转变为热能，加热了被处理工件直至所需温度，同时一部分离子直接渗入工件表面，一部分离子引起阴极溅射，使工件表面得到净化。溅出的铁原子和电子作用形成的原子态氮相结合形成FeN吸附在工件表面，在高温和继续离子轰击的作用下，很快的分解为低价氮化物而放出活性氮，一部分向工件内部扩散，另一部分返回重新参加反应，被溅射的铁原子吸附在工件表面与新的氮原子相结合，促进氮化。

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